磁控溅射镀膜实验流程

1、样品清洗、准备。

2、打开冷却水、磁控溅射电源、电脑。

3、样品室压强至大气状态放置样品。

4、抽真空。

5、调节溅射条件、溅射镀膜。

6、关闭磁溅射电源。

7、关闭电脑、循环水。

8、待样品冷却至常温在大气压下取样。