等离子实验放电装置操作流程

1、检查确认设备各部件完好，连接安全（注意接地）。

2、接通总电源，打开总电源开关旋钮，确认冷却水箱水容量打开冷却水开关按钮。

3、打开隔膜阀，确认气路连接规范完好后打开真空泵开关按钮，抽放电管内真空。

4、打开电阻真空计电源开关，测量此时反应室的压强，抽真空约15分钟使放电管内真空达到所需要求。测量放电管内的本底真空，真空度优于10Pa。

5、将高压输出线加在放电管两端，注意：在实验过程中禁止用手去触摸高压电源线以及放电极杆，防止触电。

6、将功能选择开关打在“放电电流测量”档，开启高压开关按钮，缓慢调节高压调节旋钮，调节到一定的电压时，放电管内将将产生辉光放电现象。

7、关闭隔膜阀，开启流量计开关，调节一定的流量，给真空室输送工作气源，同时调节微调阀使工作气压达到所需要求。

8、试验结束时，将高压电源调至0，关闭高压开关按钮，关闭气路，关闭真空泵，关闭冷却水，关闭总电源，拔掉总电源线。